实现最尖端的后端过程FAD5100系列的进化形。

被自自设定晶片上的设备排列。为程序人工数的大幅度的削减做贡献。

・ 出自无停止连续动作的高速的涂布：特快点胶机能。

・ 出自无停止连续动作的高速的成直线：特快对齐功能。

・ 使涂布量自动化：DVM机能。

・ 被博伊德回避形成理想的涂布模式"叶线"：MCD机能[PAT.P]。

・ 大量事前防止不良：AFC机能。

・晶片变换操作搭载。

点胶机名称：全自动晶片水准点胶机器FAD5100S-WH

点胶机型号：FAD5100S-WH

点胶机控制方式：PC/PLC控制(SMEMA根据)

点胶机适用工件台：12"晶圆，8"晶圆